ISO 14644-1 클래스 4 클린룸 인증을 위한 기계 설계: 섀시 내부 음압 진공 배기 시스템, 마모 입자가 발생하지 않는 전도성 폴리우레탄 바퀴 및 IP65 밀폐형 감속기 탑재.
Internal fans pull air through chassis cavities, venting through dual ULPA filters to capture any microscopic motor brush or bearing debris before release.